​ CNC精密零配件加工（gōng）的特點

     超精密零配件加工方法的特點是對（duì）外表層物質去除或（huò）添加的量能夠作極細微的控製。但是要獲（huò）得cnc超（chāo）精密零件加工精度，仍（réng）有賴於精密的加工設備和準確的克製係統，並采用超精密掩膜作中介物。例如超大規模集（jí）成電路的（de）製（zhì）版即使采用電子束對掩膜上的光致抗蝕劑（見光刻）舉（jǔ）行曝射，使光（guāng）致抗蝕（shí）劑的原子（zǐ）在電子撞擊下直接（jiē）聚合(或分解)，再用顯影劑把聚合（hé）過的或未（wèi）聚合過的部分溶解掉，製成（chéng）掩膜。電子（zǐ）束（shù）曝射製版必要采用工作台定位精度高達±0.01微米的超精密加工（gōng）設備。

    超（chāo）精密零配件加工，主要有超精密車削、鏡麵磨削和研磨（mó）等。在超精密車床上用通過精細研磨的單晶金剛石車刀舉行微量車（chē）削,切削厚度僅1微米左右（yòu），常用於加工有色金屬材料的球麵（miàn）、非球麵和平麵的反射鏡等高（gāo）精度、外表高度光潔的零件。例如加工核聚變裝置用的直徑為800毫米的非球麵反射鏡，高精度可達0.1微米，外表粗（cū）糙度為Rz0.05微米。

     超精密零配件加工（gōng）精度以納米，甚（shèn）至後以原子單位(原（yuán）子晶格距離（lí）為0.1～0.2納米（mǐ）)為（wéi）目標時，超精密零件切削加工方法已不能適應，必要借助特種精密零配件加工的方法，即應用化學能（néng）、電化學能、熱能或電能等，使這些能（néng）量超越原子間的聯合能，從而去除（chú）工（gōng）件外表的部分原子間的附（fù）著、聯合（hé）或晶格變形，以達到（dào）超精密（mì）加工的目的。屬於這類加工的有機械化學拋光、離子濺射和離子（zǐ）注入、電子束曝射、激（jī）光束加工、金屬蒸鍍和分子束外延等。