​ CNC精密零配（pèi）件加工的特點

     超精密零配件加工（gōng）方法的特點是對外表層物質去（qù）除或添加的量能夠作極細微的（de）控製。但是要獲得cnc超精密零件加工精度，仍有賴於精密的加工設備和準確的克製係統，並采用超精密（mì）掩膜作中介物。例如超大規模集（jí）成電路的製版即使（shǐ）采用電子束對掩膜上（shàng）的光致抗蝕劑（見光刻）舉行曝射（shè），使光致（zhì）抗蝕劑的原子在電子撞擊下（xià）直（zhí）接聚合(或分解)，再用顯影劑把聚合過的或未聚合（hé）過的部分溶解掉（diào），製（zhì）成掩膜（mó）。電子束（shù）曝射製版必要采用（yòng）工作台定位精度高達±0.01微米的超精（jīng）密加工設備。

    超精密零配件加（jiā）工，主要有超精密車削、鏡麵磨削和研磨等。在（zài）超精密車床上用通過精細研磨的單晶金剛石車刀舉行微量車削,切削厚度僅1微米左右，常（cháng）用於加工有色金屬材料的球（qiú）麵、非球麵和平麵的反（fǎn）射鏡等高精度、外表高（gāo）度光潔的零件。例如加工核聚變（biàn）裝置（zhì）用的直徑為800毫（háo）米的非球麵反射鏡，高精度可達0.1微（wēi）米，外表粗糙度為Rz0.05微米。

     超精密零配件加工精度以納米，甚至後以原子單位(原子晶格距離為0.1～0.2納米)為目標時，超精密零件切削加工方法已不能適應，必要借（jiè）助特種精密零配件加工的方（fāng）法，即應用（yòng）化學能、電化學能、熱能或電能等，使這（zhè）些能量超越原子間的聯合能（néng），從而去除工件外表的部分原子間（jiān）的附著、聯合或晶格變形，以達到超精（jīng）密加工的目的。屬於這類加工的有機械化學拋光、離子濺射和（hé）離子注入、電子束曝射、激光束加工、金（jīn）屬蒸鍍和分子束外延等。